青島西海岸某晶圓廠的無塵車間內(nèi)，丹佳自主研發(fā)的iClean Pro凈化空調(diào)機(jī)組正以0.001℃的溫控精度守護(hù)著芯片制造的黃金環(huán)境。機(jī)組內(nèi)置的128組納米級(jí)傳感器，可實(shí)時(shí)捕捉粒徑≥0.01μm的微粒濃度，與三級(jí)過濾系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)作業(yè)：初效過濾器攔截5μm以上顆粒，中效層捕獲0.5μm粉塵，末端PTFE超濾膜對(duì)0.1μm微粒截留率達(dá)99.9997%。
革命性突破在于AI流體仿真系統(tǒng)，通過2.4萬次/秒的湍流計(jì)算，動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)36個(gè)出風(fēng)口的矢量角度，使?jié)崈羰覛饬骶鶆蚨冗_(dá)到98.5%。某12英寸硅片項(xiàng)目數(shù)據(jù)顯示，該機(jī)組在黃海潮濕季（RH≥85%）仍將車間露點(diǎn)溫度穩(wěn)定在-40℃，濕度波動(dòng)≤±1.5%，良品率提升2.3%。更搭載自愈型變頻驅(qū)動(dòng)技術(shù)，在電壓波動(dòng)±15%時(shí)仍保持風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速誤差＜0.2%，年故障停機(jī)時(shí)間縮短至4分鐘。
